壓阻式壓力傳感器的工作原理
壓阻式壓力傳感器的工作原理基于半導體材料的壓阻效應，即半導體材料（如單晶硅）在受到外力（壓力）作用時，其電阻率會發(fā)生顯著變化，進而導致電阻值改變，通過測量電阻變化可間接獲取壓力信息。
具體過程如下：
1. 敏感元件設計：在單晶硅膜片（彈性元件）上，通過擴散或離子注入等半導體工藝，制作4個等值的壓敏電阻，并將它們連接成惠斯通電橋結構（平衡狀態(tài)下電橋輸出為零）。
2. 壓力作用：當被測壓力作用于硅膜片時，膜片發(fā)生形變，導致其上的壓敏電阻受到應力（拉伸或壓縮）。
3. 電阻變化：受應力影響，壓敏電阻的電阻率發(fā)生變化（拉伸時電阻增大，壓縮時電阻減?。闺姌蚴テ胶?，輸出與壓力成正比的電壓信號。
4. 信號處理：輸出的微弱電壓信號經(jīng)放大、溫度補償?shù)入娐诽幚砗螅D換為標準電信號（如0-5V電壓或4-20mA電流），實現(xiàn)壓力的測量。
這種原理使得傳感器具有靈敏度高、響應快、體積小等特點，廣泛應用于消費電子、醫(yī)療設備等領域。
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